走査型電子顕微鏡（Scanning Electron Microscope、SEM）は、物質の微細構造を観察するための高性能な電子顕微鏡です。SEMは、電子銃から発射された電子ビームを対象物に照射し、それによって発生する信号を検出することで、高解像度の画像を生成します。
SEMの主な特徴は、高い解像度と深い焦点深度です。SEMでは、電子ビームが物質と相互作用する際に、散乱電子、バックスキャッター電子、二次電子、熱電子などの信号が発生します。これらの信号は、それぞれ物質の表面形状、組成、内部構造を示すため、SEMは高い解像度で物質を詳細に観察することができます。
また、SEMは高い深度解像度を持っています。深度解像度は、観察対象の表面から深くまで焦点を合わせることができる能力を指します。SEMは、優れた深度解像度を持ち、観察対象の内部構造を非常に精密に観察することができます。
SEMは、材料科学、化学、生物学、地球科学、半導体工学などの分野で広く利用されています。SEMは、微小な構造物の形状や大きさ、表面状態、化学組成などを詳細に観察できるため、新しい素材の開発、材料の改良、研究成果の発展に重要な役割を果たしています。
